氦气泄漏检测器UL6000Fab

定义泄漏检测的速率和准确性

INFICON UL6000 氦气检漏仪旨在满足为苛刻的泄漏检测应用的要求。UL6000 采用经过领域验证的真空设计，内置 INFICON 专利软件算法 I-CAL 和 Hydro-S，可以为测试提供灵活性和高灵敏度以及快速、的测试结果，确保任何泄漏检测应用均可快速、轻松地完成。

 UL6000 在所有测试范围内均可实现快速响应，从达到测试条件到获得终结果的周期时间极其短暂。此设计的真空架构可以提供持续高速的氦气泵速以及极其快的响应，能够满足您的需求。

好处

• HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能够快速达到测试条件。

• UL6000 Fab PLUS - Additional Advantages

• Featuring I·RISE, our intelligent rate-of-rise: Provides in-device pressure increase testing combined with helium spraying method

• Rate-of-rise measurements in under 10 seconds

• Helps minimize general time for leak testing and fab equipment maintenance

• More speed, more precision

• I-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates) 确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。

• 特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供佳氦气泵速和高氦气压缩率，从而提供灵敏度、快速响应和清洗。

• 前置涡轮分子泵可以对任何测试对象（包括大容量和大腔室）提供极其快速的响应。

• 经过领域验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪采用无故障、免维护设计，历经数年仍可提供准确且可重复的结果。

• 自我保护功能可保护 UL6000 免受氦气和粒子污染，甚至还设有自动冲净周期，确保 UL6000 随时可用。

• 旋转式显示器/控制接口和可选远程手动控制器提供操作灵活性。

• 可通过软件启用对装置和系统软件的访问控制，从而阻止未经授权地使用或意外修改测试设定。

• 通过电子邮件升级软件，确保您的 UL6000 始终处于佳工作状态。

• 新型工作站设计，带有佳高度的工作台面，并且配备有防静电台垫和工具箱，便于测试。

典型应用