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AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多,粒子污染控制只要确定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的缩小而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响,更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物,而园片加工工序当前已多于3多个立工序,对AMC控制指标的确定更是复杂。IC生产对AMC的控制,对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求,对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm~1pptm间。偏心半球阀采用上装式结构,在维修过程中,不需从管线中拆卸下来,只需卸下阀盖上的螺栓,取下阀盖,从而可以取出偏心轴,这样了阀门能够在线维修。偏心半球阀在开启时应流道完全畅通,在运行时水头损失小。球体采用半圆形通道,具有良好的流通性能和线性调节性能,且杂质不会沉积在阀体中腔内。偏心半球阀应有足够的强度,偏心曲轴采用固定球结构,在高流速下无任何振动,壳体试验按国家标准GB13927-1992执行。