Futurrex光刻胶NR2-P
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NR2-P | 可实现100um膜厚的凹凸图案,分辨率好,易于去胶 | |
NR5 | 可作厚膜掩膜,适用于离子刻蚀 | |
PR1 | 刻蚀制程中的正性光刻胶,适用于喷涂和辊涂 | |
平坦化 | PC3 | 平坦化,临时黏附及机械保护 |
图案印刷 | PR1 | 刻蚀制程中的正性光刻胶,适用于喷涂和辊涂 |
NR9 | 增强了黏附性,适用于喷涂和辊涂 | |
显影液 | RD6 | 显影时间短,适用于正、负性光刻胶, |
去胶液 | RR41/RR5 | 可以安全、的去除光刻胶及临时涂层,适用于多种衬底材料 |
边胶清洗液 | EBR2 | 、快速的边胶去除 |