INFICONQuantusLP100气体分析仪
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INFICON Quantus LP100 气体分析仪为您的关键过程环境提供实时泄漏检测和端点检测。许多过程对泄漏都很敏感，或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪，用于实时应对敏感过程环境中的细微变化，以大限度地减少报废，提高产出。
方便的现场可更换等离子单元
使用标准 KF25 连接件方便地安装
更低的维护成本
低至 ppm 级的检测下限
工作范围为 10 mTorr 至 1 Torr
长期的可靠性：不需要泵
低拥有成本
快速的 10 Hz 采样频率
小巧：（高 x 宽 x 长）87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持
| Operating pressure | 0.01 to 1 Torr (application dependent) |
| Spectrometer performance | 200 to 850 nanometer wavelengths (UV-VIS) 16-bit full-scale resolution, 2048 pixels |
| Detection limit | To low ppm levels (application dependent) |
| Exposure time | Minimum of 1 ms |
| Vacuum fitting | KF25 |