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为现有技术的切克劳斯基(直拉)法制造硅单晶的直拉式单晶生长 炉的剖面结构示意图2为图1中的输入管与环形气体分布器的结构示意图3为实施例1中直拉式单晶生长炉的气流导向装置的结构示意图4为图3的A-A剖面视图5为为图3的B-B剖面视图6为实施例1中直拉式单晶生长炉的剖面结构示意图7为实施例1中直拉式单晶生长炉的另一剖面结构示意图。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,直拉式单晶炉设备回类、二手单晶炉设备、单晶硅炉、整流柜、补偿柜回收、电力柜回收、整流柜回收、电源柜回收、高频电炉、中频电炉、电炉感应炉、单晶炉、单晶硅炉、电力锅炉、中频炉回收、高风炉回收、井式炉回收、熔铝炉回收、熔铜炉回收、主要产品有TDR-62B、TDR-70B、TDR-80。单晶硅生长炉行业,主要产品有TDR80A-ZJS、TDR80B-ZJS、TDR80C-ZJS、TDR8-ZJS、TDR9-ZJS、TDR112A-ZJS。
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采用了上述技术方案后,本发明具有以下有益效果:、取出晶棒后,将硅料加入加料坩埚,盖上外部加料器的上盖,将外部加料器真空抽到合适压力值时打开旋阀,硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化,熔化后的硅料流入主炉室坩埚,当外部化料器中的硅料加完后,再关闭旋阀,把外部加料器充常压,打开外部加料器的上盖继续加料,如此循环,进而完成外部加料、化料,本发明可实现连续拉晶,选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五六根晶棒,可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间,进而提高生产效率;、