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本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器移出工作位并旋开，进而方便拆炉和清理，本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室的零部件；、本发明可通过副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置驱动副炉室移动，并在副炉室移取晶位的过程中，通过电动接晶托防止晶棒掉落，安全；、当不再继续加料时，通过化料器升降驱动装置将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置，并通过化料器旋臂的旋转旋开外部化料器，进而方便拆炉和清理；、本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震，使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响，进而保晶棒质量。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，而采用有限元法数值模拟是一种优化单晶炉设计的重要工具。本文对采用矮加热器的复合式热场进行了数值模拟,得到了流场分布图和热场温度分布图。对新型热屏和矮加热器对晶体生长的影响进行了系统的理论分析和实验验工作。结果表明,新型热屏不仅起到导流筒的作用,改进了流场,使单晶氧含量下降;而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题,大大提高了拉晶速率,降低了生产成本。