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整个炉内的一氧化硅与的混合气体(包 括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外，整个炉内不存在排气 不畅的地方，即不存在排气死角，既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀，还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上，从而确保了该炉的使用寿命，使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上，另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用，使平均成品率从原来的65%提高68%以上，并可提高单晶 的内在质量。本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的 一对排气口相 对设置，缩短了排气管路，利于提高排气效率。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，发明内容、本发明的目的是提供一种易于及时排出炉内的混合气体，且可减少热 能及消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是提供一种直拉式单晶生长炉，其包括 输入管、与输入管相连通的环形气体分布器；其特征在于经氩 气输入管输入的气压为0. 8xl0a0. 9xl0a,流量为 30L/min。上述技术方案中，还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和 该炉底部的排气口之间的气流导向装置；该气流导向装置为碗形，其包括 设于气流导向装置底部的中轴孔、设于所述中轴孔两侧的 一对电极孔、 以及设于所述中轴孔两侧并与该炉的排气口相对的通气孔；该炉的石墨中 轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，该炉的 一对电极柱分别穿过所述电极 孔，该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上 端部设于该炉的保温筒与发热体之间。

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直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料,并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统,主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能,可以大致分为加热系统、传热及支撑系统、导流系统、保温系统等。如加热系统包括加热器、石墨电极、连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚、石英坩埚、托盘、坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖、保温筒、保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行,以及晶棒的拉速和品质。