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直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料,并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统,主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能,可以大致分为加热系统、传热及支撑系统、导流系统、保温系统等。如加热系统包括加热器、石墨电极、连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚、石英坩埚、托盘、坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖、保温筒、保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行,以及晶棒的拉速和品质。
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具体地,为了减小螺钉16的上端部与上减震橡胶垫172之间的压强,进而延长上减震橡胶垫172的使用寿命,所述螺钉16的上端部和上减震橡胶垫172之间设置有垫片173。在本实施例中,所述螺钉16设置有四个,为了当不再继续加料时,可以更方便地将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置,并方便外部化料器7的移动、拆解和清理,连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂18,所述底座1上设置有立柱10,所述化料器旋臂18铰接在立柱10上,所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂18上,所述外部化料器7连接在化料器升降驱动装置上,以便在不继续加料时,通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器7上升不干涉主炉室坩埚21上升的位置;和化料器升降驱动装置及外部化料器7随化料器旋臂18一起转动。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,本文结合某单晶炉产品的研制 ,设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器、齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2~ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ,它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。经折算后 (见下节式 ( 3) )