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本发明的直拉式单晶生长炉中,经 输入管输入的气压为0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量为30L/min。 该流量不但不影响该炉中单晶的生长,平均每个直拉式单晶生长炉每 天可少消耗1440L,有效降低了生产成本,且利于在硅单晶生长过程 中单晶分子排列结构的整齐性,还利于提高电阻率的均布性。(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中,碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和炉底部的排气口之间,且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石 墨中轴及一对电极孔配合设置,有效地减小了炉内空间,便于迅速及时地 将炉内的一氧化硅与的混合气体排出,且利于减少热能和的消耗量,使原有的引晶功率从65KW减到61KW;另外,由于该炉的排气口与气流 导向装置的各通气孔相连通,蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,工业炉:分为电炉和燃烧炉(狭义的工业炉指燃烧炉)2. 主要产品七大类:电阻炉、感应炉、真空炉、电子束炉、热处理(或熔炼)机组、热处理辅助设备、燃烧炉三. 电阻炉:三大部件:加热器、炉衬、耐构件 1. 分为周期式及连续式两大类 2. 周期式炉的特征:A. 炉料同时加入同时取出 B. 加热时炉料基本不动(特殊情况除外:如滚筒炉,辊底炉) C. 工作区内力求温度均匀。
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液压传动装置能准确的完成主炉室和副炉室的开启,炉室、副炉室上升到位后对称旋出,保主机稳定可靠,并便于机动取出晶体,拆装热场系统和清理炉内各部。炉体部件采用316L不锈钢,法兰整体锻造,经过振动消除应力、缺陷检查和探伤检验及氦质朴检漏仪检漏。