江苏金坛提拉式长晶炉回收江苏金坛螺杆真空泵回收
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为了配合di76.Zmm器件生产线的发展,我所研制了国内台15~30公斤的DL。78型单晶炉[‘],并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺[‘]。在控制大直径硅单晶的过程中,涉及的面比较广,尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺,需要研究讨论的问题很多,例如,热场的设计、减压工艺的设计与调整
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用于熔化硅料的外部化料器7,所述外部化料器7的和加料坩埚62相连通,所述外部化料器7的底端和主炉室坩埚21相连通,以便将硅料加加料坩埚62后,硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化,被熔化后的硅料流主炉室坩埚21内。具体地,外部加料器6和外部化料器7之间设置有旋阀64,以便通过旋阀64控制外部加料器6和外部化料器7之间是否连通,所述外部化料器包括装料器71、化料器坩埚72和用于给化料器坩埚72加热以便硅料熔化的热场73,所述装料器71和加料坩埚62相连通,所述化料器坩埚72和装料器71相连通,分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,在本实施例中,所述副炉室升降驱动装置12的结构和加料器升降驱动装置的结构一致,所述副炉室旋转驱动装置13的结构和加料器旋转驱动装置的结构也一致。为了防止在副炉室3移动到取晶位的过程中,因晶棒掉落而出现事故,连续拉晶单晶炉还包括在副炉室3移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托,所述电动接晶托包括提升杆、用于承接晶棒的托板153、电动推杆152、接晶托电机154和固定管151,所述电动推杆152连接在副炉室旋臂14上,所述提升杆连接在电动推杆152的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降,所述接晶托电机154连接在提升杆上,所述托板153连接在接晶托电机154的输出轴上,以便通过接晶托电机154驱动托板153旋转,所述固定管151套装在提升杆和电动推杆152的推杆的外侧,所述固定管151连接在副炉室旋臂14上。