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环氧乙烷灭菌器是用于对热和湿热敏感的物品及所有不能经高压灭菌物品的灭菌。环氧乙烷灭菌器须满足以下条件，如水、电、汽(环氧乙烷气体、压缩空气)方可进行灭菌程序。环氧乙烷对各种微生物都有较好的杀菌力，其穿透性很强，对物品损害小。环氧乙烷又称“氧化乙烯”，是无色透明液体，有气味。

环氧乙烷气体力强、谱广，可杀灭各种微生物包括芽孢，属消毒剂。多数不宜用一般方法消毒的物品均可用环氧乙烷消毒和低温等离子消毒。环氧乙烷是目前主要的低温消毒方法之一。

在同样的温度下，温热的杀菌效果比干热好，其原因有：①蛋白质凝固所需的温度与其含水量有关，含水量愈大，发生凝固所需的温度愈低。湿热灭菌的菌体蛋白质吸收水分，较同一温度的干热空气中易于凝固。②温热灭菌过程中蒸气放出大量潜热，加速提高湿度。因而湿热灭菌比干热所要温度低，如在同一温度下，则湿热灭菌所需时间比干热短。③湿热的穿透力比干热大，使深部也能达到灭菌温度，故湿热比干热收效好。