半导体广西微波源

法国SAIREM公司的微波源，是高可靠性立工作单元，全世界许多PECVD整机厂商和研究实验室用来做设备集成。
模块标准化的设计使他们易于集成和使用到各种各样的环境中。

Sirem微波源被设计成立或远程操作、***小的尺寸、良好的电力稳定性和显著低电力损耗。 详细和交互式的界面使它们易于操作、使用，可以通过RS232、RS485, ETHERNET 或现场总线连接进行模拟控制，如CanOpen、Modbus、Profibus等。

Sairem 赛龙2.45GHz各种功率的微波源常用的配套散件有： 1，）叁销钉调节器 AI3S+KIT1027, AI3SMWR340NG, AI3SMWR340D24X25MRR2PE-B; 2,)短路器 PCCMWR340L130PVMR1PE-B, PCC6KW, PCC10KW 3,) 全自动阻抗匹配器 AI4S, AI4S A 2450/340 4,) 磁控管 Tube 6KW,KIT1014, KIT1048, Tube 10KW, KIT1041; 5,) 各种波导器件, E弯头 E-BEND， 波导转换器件 TRANS WR340/WR284 RECT ; 波导法兰件 KIT1026 (2Flanges L=55mm), KIT1027 (2 Flanges L=95mm) ; 模式变换器；模式转化器； 波导窗