云南微波源半导体

法国SAIREM公司的微波源，是高可靠性立工作单元，全世界许多PECVD整机厂商和研究实验室用来做设备集成。
模块标准化的设计使他们易于集成和使用到各种各样的环境中。

Sirem微波源被设计成立或远程操作、***小的尺寸、良好的电力稳定性和显著低电力损耗。 详细和交互式的界面使它们易于操作、使用，可以通过RS232、RS485, ETHERNET 或现场总线连接进行模拟控制，如CanOpen、Modbus、Profibus等。

SAIREM微波源除了有标准配置的产品，也可根据用户要求进行特殊定制。 SAIREM微波源标准配置产品主要包括2.45GHz系列和915MHz系列，每个系列又包括固态发生器和磁控管式发生器，也有脉冲式和连续式可选，并有不同的功率可选，每种发生器按照控制模式又包括数显控制式和远程控制式。 SAIREM微波源，按照功率又可以分为2kW / 4kW / 6kW/10KW- 2.45GHz, 以及 36KW/54KW/72KW/100KW- 915MHz。 SAIREM直流高压电源的标准配置产品根据功率不同分为750W和1500W两种。 产品系列：2.45GHz微波源 200W,2.45GHz固态微波源，风冷，可变频率，自动调节 200W,2.45GHz固态微波源，水冷，可变频率，自动调节 450W,2.45GHz固态微波源，水冷，可变频率，自动调节 2kW,2.45GHz磁控微波源，连续波模式，数显，单相供电230V 2kW,2.45GHz磁控微波源，脉冲模式，数显，单相供电230V 3kW,2.45GHz磁控微波源，连续波模式，数显，三相供电400V 3kW,2.45GHz磁控微波源，脉冲模式，数显，单相供电400V 6kW,2.45GHz磁控微波源，连续波模式，数显，三相供电400V 6kW,2.45GHz磁控微波源，脉冲模式，数显，单相供电400V 2.45GHz微波源用波导附件和选件 WR340手动3-stub调谐器 WR340自动4-stub调谐器 PLC控制柜---机架式 PLC控制柜---桌面式 WR340手动滑动短路器 WR975电动滑动短路器 产品系列：915MHz微波源 600W,915MHz固态发生器，水冷， 5kW,915MHz微波源，水冷，连续模式 36kW,915MHz微波源，水冷，连续模式 54kW,915MHz微波源， 水冷，连续模式 72kW,915MHz微波源，水冷，连续模式 100kW,915MHz微波源，水冷，连续模式