反应离子刻蚀(RIE)是一种制造微纳米结构的等离子刻蚀技术。在刻蚀过程中,低压等离子体产生了高能离子和自由基,与样品表面反应,产生挥发性的化合物。这些挥发性化合物从样品表面抽走后,样品表面就实现了同向性或异向性的形貌。许多材料都能使用RIE刻蚀,并通过优化刻蚀参数(腔体压力、射频功率、气体流量比等)获得更好效果。
反应离子刻蚀(RIE)是一种制造微纳米结构的等离子刻蚀技术。在刻蚀过程中,低压等离子体产生了高能离子和自由基,与样品表面反应,产生挥发性的化合物。这些挥发性化合物从样品表面抽走后,样品表面就实现了同向性或异向性的形貌。许多材料都能使用RIE刻蚀,并通过优化刻蚀参数(腔体压力、射频功率、气体流量比等)获得更好效果。
名称 | 成都超迈,刻蚀机 |
价格 | 200000.00 元 |
地区 | 四川德阳 |
联系 | 蒲先生 |
关键词 | 干法刻蚀机,成都厂家,刻蚀机,成都超迈 |