电子工业用气体氮检测

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别名·英文名

Nitrogen

2.用途

化肥、氨、硝酸等化合物的制造，惰性保护介质，速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂，电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等，还用作标准气、校正气、零点气、平衡气等。

3.制法

①空气分离法

②氨或亚硝酸铵的分解法：NH4NO2→N2+2H2O

③在铜屑上通过氧化氮

在常温常压下，氮为无色无臭无味的惰性气体。氮在空气中约占78.1%。液态氮也是无色无臭,比水轻。在空气中燃烧。