冷却塔填料用到的材料肖术材、石棉水泥、水泥网格、 塑料、玻璃钢、陶瓷等。早期的冷却塔用到的材料只有木材。由于木材容易得到，从冷却塔出现到20世纪60年代，冷却塔内的填料几乎都是由木材制成。
红木由于它的防腐特性，是早期冷却塔填料常用材料。生长时间长的红木外形直且结实，使用寿命长，容易利用，因此价格较高。后来，老红木开始短缺，并且价格不断攀升。
20世纪五、六十年代，石棉水泥薄板曾作为冷却塔填料的材质而广泛应用。这种材料有很好的防腐蚀性。但人们发现石棉水泥在加工生产过程中对环境有害，所以这种材料的应用逐渐减少，有些国家已经禁用。
70年代左右，塑料填料的出现是冷却塔发展的一个重大。塑料填料先应用是在采暖通风与空调行业，后来又应用到精炼与电厂工业。这种填料的特点是防腐蚀性很好，可以长期利用。塑料膜式填料更是冷却塔发展史上的一大创新，由于它增加了水与空气的接触面积。从而具有更好的冷却能力。但是在冷却塔高温潮湿的工作条件下，塑料填料在工作3年左右的时间后会发生老化变形的现象，影响冷却效率。而且冬季结冰也会对塑料填料造成比较大的影响。
近些年来，陶瓷填料渐斯应用于电厂冷却塔中，陶瓷填料的特点是防老化。不易发生几何变形，不脆裂，且防腐蚀，耐酸、耐碱性能好。这种填料还有一个特点就是防冻性非常好，陶究填料的寿命比较长，使用寿命的设计时间为30年。这种填料的初投资比较大，机组服役30年不用更换填料,运行维护维修费用相比其他材料也比较低。
梯形冷却塔填料性能特点：
台阶梯形斜波填料由水利电力科学研究院冷却水研究所设计，本填料片型横断面呈梯形斜波，提高了填料中的汽水挠动和减缓水膜下溅速度，在填料中延长了热交换时间，提高了散热性能。具有较好的综合性能。通道面积大，粘接牢固，整体组装钢度好，可广泛用于工业冷却塔，本厂生产聚氯乙烯（PVC），聚丙烯（PP）两种材质。
冷却塔填料清洗方法：
1、人工清扫冷却塔内脱落的垢渣；
2、用高压水反复冲洗填料，清洗下的污泥水垢等；
3、用50℃左右热水将TNB安全除垢剂溶解后用冲洗泵反复冲洗填料，直至水垢冲洗干净（若填料使用期限较长，引起老化及坍塌，建议更换填料），同时加入灭藻剂，杀灭生物藻类及；
4、确认系统各处全部清洗干净后，排去污水；
5、用清水冲洗填料及塔身内外；
6、恢复系统各处，补水即可使用；
7、全部恢复后，请甲方管理人员验收；
8、撤离乙方物品，打扫现场卫生；
冷却塔填料清洗方法：
1、临时用塑料布搭建一个大水池；
2、将清洗剂加入清水中；
3、将填料从冷却塔中拆下来放入药池中浸泡；
4、将浸泡干净的填料用清水冲洗干净后装回冷却塔；
5、用粘有药剂的布放在冷却塔补水器上，将补水器口浸泡疏通；
6、用同样的方法将冷却塔底盘水垢进行干净；
7、用清水冲洗填料及塔身内外；
8、恢复系统各处，补水即可使用；