等离子体源火炬Hi-Wave等离子体源加速器

2.45 GHz 微波等离子体源是一种用于产生等离子体的设备，它利用 2.45 GHz（千兆赫）的微波频率来产生电离气体。这种技术在各种工业和科学应用中都有重要应用。

在 2.45 GHz 频率下产生的微波具有产生等离子体的特优势。在这个频率下，微波可以有效地与气体的电子共振，从而提高电离效率。此外，2.45 GHz 频率允许使用相对较小的腔体尺寸，这对于紧凑型等离子体源的设计非常有用。 微波等离子体源具有多种应用，包括：

Sairem公司是法国一家专注于提供微波源、微波等离子体源的公司，它的微波源被广泛应用于PECVD法制造生长金刚石设备中，等离子体源用于清洗、喷溅、蚀刻等设备中。