闭路循环气氦制冷机低温泵 它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦，冷板温度为50～100K，典型应用是65K,用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10～20K，用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。
活性炭在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成，表面抛光达到镜面程度，以减小系数。泵的极限压力为帕，工作压力范围为帕，要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒。此外，尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内，其抽气速率可达到106升/秒以上。
对吸附材料进行表征的物理量主要有：几何形状和颗粒大小分布；表面结构；密度；比表面积；孔径分布、孔容和平均孔径大小等。研究低温泵的吸附材料主要是通过以上参数的表征而进行的。
温州盛义机械生产和销售各种低温泵配件、低温泵配件其中主要包含导向环、活塞环、四氟刮霜器、压紧圈、密封圈、密封件、浮动阀等配件。每种种类又有好几种不同大小规格。种类多达30余种。
绝缘性：不受环境及频率的影响，体积电阻可达1018欧姆?厘米，介质损耗小，击穿电压高。
耐高低温性：对温度的影响变化不大，温域范围广，可使用温度-150~260℃。
表面不粘性：已知的固体材料都不能粘附在表面上，是一种表面能小的固体材料。
当泵被预抽到 帕压力时灌入液氮和液氦，气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到 帕数量级，故泵可获得帕以下的极限压力。如果把液氦容器抽真空减压到6650帕，液氦温度可降到2.3K，则可得到更低的极限压力。