江苏滨海涡旋高真空泵回收江苏滨海直拉式单晶炉回收
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发明内容、本发明的目的是提供一种易于及时排出炉内的混合气体,且可减少热 能及消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是提供一种直拉式单晶生长炉,其包括 输入管、与输入管相连通的环形气体分布器;其特征在于经氩 气输入管输入的气压为0. 8xl0a0. 9xl0a,流量为 30L/min。上述技术方案中,还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和 该炉底部的排气口之间的气流导向装置;该气流导向装置为碗形,其包括 设于气流导向装置底部的中轴孔、设于所述中轴孔两侧的 一对电极孔、 以及设于所述中轴孔两侧并与该炉的排气口相对的通气孔;该炉的石墨中 轴穿过所述气流导向装置的中轴孔,该炉的 一对电极柱分别穿过所述电极 孔,该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上 端部设于该炉的保温筒与发热体之间。
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