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所述气流导向装置的中轴孔与该炉的石墨中轴活动密封连接,以防止 因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接,以防止因 该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接,以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气,影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通,以提 高排气效果。所述气流导向装置由石墨制成,石墨具有强度高、抗热震性好、耐高 温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。本发明具有积极的效果(1)
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D. 罩式炉(主要用于退火,加热罩可吊移)   E. 底升式罩式炉(罩子固定,升降底座,适用于大型炉子)   F. 转筒式炉   G. 密封箱式炉(又称为多用炉,可进行渗碳、光洁淬火、碳氮共渗等热处理工艺。采用辐射管加热,辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中,这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响)4. 连续式电阻炉  A. 推送式炉   B. 传送带式炉   C. 网带炉(适用于薄小零件的退火、烧结、钎焊及固溶处理。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展,出于提高生产率、降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积、严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难,结晶速率难以提高。为了解决这两个问题,本文在国产TDR-80单晶炉的基础上,对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂、造价昂贵,所以拉晶实验成本太高。

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