等离子代加工厂商
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机台整机规格 750mm(W)×875mm(D)× 1400mm(H)
真空室规格 进口铝260mm(W)×375mm(D)× 260mm(H)
电极板规格 进口铝244(W)×256 (D)mm
真空电极结构 水平电极板5层, 处理4层工件
真空泵系统 岩田干泵
PLC自动控制系统硬件 OMRON/SIEMENS-PLC及扩展模块(D/A转换、A/D转换、温度控制) 日本欧姆龙/西门子
人机工控系统 触摸屏式全中文界面
温度控制系统 日本欧姆龙OMRON温度传感模块,PID闭环控制,温度可控
真空测定系统 皮拉尼电阻式真空计 日本爱发科