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DM200-SE桌面显影机可根据需求制作四管路显影机或更大基片

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桌面显影机优势

 

1.全封闭式显影,避免雾气扩散到外部,污染环境。

 

2.外壳喷塑,耐腐蚀,易清洗。

 

3.内腔镀特氟龙,光滑,耐腐蚀,易清洗。

 

4.内置真空过滤器,防止液体吸入真空泵。

 

5.真空压力可调,压力值实时显示。

 

6.液体流量可调,回吸可调。

 

桌面显影机参数

 

支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圆晶)

 

1.转速分辨率:±1 RPM

 

2.旋涂速度:20-3000rpm(空载)

 

3.旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空载)

 

4.工艺时间设定: 0-3,000sec/step,时间设置精度: 0.1sec

 

5.该机型适用于标准3路显影机(1路洗衣液,1路纯水,1路氮气)

 

6.单步工艺及多步工艺可选,内置100组可编辑程序

 

7.可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。

 

设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能,并且喷嘴位置可程控移动,实现自动显影和清洗作业。

 

桌面显影机是一种用于制作电路板和印刷电路板的设备。它通过将光敏材料涂覆在基板上,再利用紫外线曝光和化学显影的过程来形成图案和电路追踪。这种设备通常较小且易于操作,适用于小批量生产和研发实验室。桌面显影机可以帮助制造商和电子工程师快速制作样品和原型,并提供和可重复性的输出结果。


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