真空炉氦气泄漏检测

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高纯气体氦气检漏的泄漏率应符合下列要求：

（1）通过向内泄漏检测方法测得的泄漏率不得超过1.10-9 mbar l/s；

（2）阀座泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s；

（3）向外泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s

7.氦检漏发现的泄漏点修复后，重新进行气密性试验，合格后，再按规定进行氦检漏。

8.所有可能的泄漏应使用塑料袋进行隔热。

9.系统测试后，用高纯度氮气或氩气填充和清洁。

10.检查后，应提交试验报告。