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洁净室空气过滤器
现行国家标准《空气过滤器》GB/T 13554--2008 规定了空气过滤器的分类、技术要求、质量检验规则等方面的基本要求。适用于常温、常压条件下送风及排风净化系统和设备使用的空气过滤器和超空气过滤器。但不适用于、楼工业及其他有要求的过滤器。
1.术语、定义
(1)空气过滤器
指用于进行空气过滤且使用《空气过滤器性能试验方法效率和阻力》GB/T 6165 规定的钠焰法检测，过滤效率不低于99. 9%的空气过滤器。
(2)超空气过滤器
指用于进行空气过滤且使用《空气过滤器性能试验方法效率和阻力》GB/T 6165 规定的钠焰法检测，过滤效率不低于99. 9%的空气过滤器。
(3)粒径
指用某种测定方法测出的尘埃粒子的名义直径。单位以微米(um)表示。
(4)效率
指过滤器捕集气溶胶微粒的能力。被过滤器过滤掉的气溶胶浓度与原始气溶胶浓度，以百分数表示。
(5)透过率
指过滤器过滤后的气溶胶浓度与原始气溶胶浓度之比，以百分数表示。效率E与透过率P的关系为：E=1-P
(6)有分隔板过滤器
指过滤器滤芯是按所需深度将滤料往返折叠制成，在被折叠的滤料之间靠波纹状分隔板支撑着，形成空气通道的过滤器。
(7)无分隔板过滤器
指过滤器滤芯是按所需深度将滤料往返折叠制成，在被折叠的滤料之间用线状胶黏剂或其他物料支撑着，形成空气通道的过滤器。
(8)额定风量
指由过滤器生产厂家所规定，标识过滤器工作能力的技术参数，表示过滤器在单位时间内所处理的空气体积流量，单位为m3 /h。
(9)阻力
指过滤器通过额定风量时，过滤器前、后的静压差。单位以Pa表示。
2.分类
(1)按结构分类
按空气过滤器滤芯结构分类，可分为有分隔板过滤器和无分隔板过滤器两类。
(2)按效率和阻力分类
1)空气过滤器的分类
按GB/T 6165规定的钠焰法检测的过滤器效率和阻力性能，空气过滤器分为A、B、C三类。
2)超空气过滤器的分类
按GB/T 6165规定的计数法检测过滤器效率和阻力性能，超空气过滤器分为D、E、F三类。
(3)按耐火程度分类
根据《建筑材料及制品燃烧性能分级》GB 8624规定，过滤器按使用材料的耐火级别分为1、2、3。

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洁净厂房微振控制
1.有微振控制要求的洁净厂 房，设计应考虑建筑结构的选型及地面(楼面)的构造做法，如增加基础及上部结构垂直及横向刚度，增加地面(楼面)刚度，能有效减小振动影响。此外，还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施，壁板与地面及顶棚采用柔性连接等，均能减小振动传递。即减小了对精密设备、仪器仪表的振动影响。
在洁净厂房设计中，应先考虑对强振源采取隔振措施，以减小强振源对精密设备、仪器仪表的振动影响，在此基础上，精密设备、仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施，大致能够达到预定目的。
在原规范中，本条为强制性条文，虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房，但由于没有量化的规定，容易引起执行不准确的问题，实施以来确有此种情况发生，为此本次修订将本条改为推荐性条文。
2.精密设备、仪器仪表的被动隔振措施，由隔振台座及隔振器(或隔振装置)组成。根据隔振设计计算需要，设定隔振台座为不变形刚体，为此应对隔振台座的形状、几何尺寸及材质选用等方面加以考虑，使之具有足够的刚度。
某些精密设备、仪器仪表在运行时，由于移动部件位置变化或加工、测试件的质量及质心位置变化，使各隔振器的变形量不相等，隔振台座发生倾斜，导致精密设备、仪器仪表难以正常工作。为此，应设置校正倾斜装置，使隔振台座保持原有的水平度，以精密设备、仪器仪表的正常运行。
隔振系统阻尼过小，会产生较大的自振，以及受外界突发干扰(如对隔振台座的冲击、室内气流的扰动影响等)，造成隔振台座晃动，这种振动值有时会大于精密设备、仪器仪表的容许振动值，影响其正常运行。为此应隔振系统阻尼值，才能减小此类振动。通过多项工程实践表明，隔振系统阻尼比不小于0.15是比较恰当的。
3.空气弹簧的垂直向、横向刚度很低，使隔振系统具有很低的固有振动频率，同时它具有可调节阻尼值的特性，隔振系统可获得需要的阻尼，因此，隔振系统具有良好的隔振效果。当配用控制阀时，可自动校正隔振台座的倾斜。由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器的性，已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备、仪器仪表的隔振元件。
用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器、控制阀、仪表箱及气源组成。由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排体(如压缩空气、氮气等)，因此对气源应进行净化处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级，才能排出的气体不致对洁净室造成污染。

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水冷式冷水机组和整体式空气调节器的冷却水应循环使用，冷却水的热量宜回收利用；冷水机组的冷却水进口温度不宜33℃；冷却水进口温度应按冷水机组的要求确定，电动压缩式冷水机组不宜低于15.5℃，冷却水系统，尤其是全年运行的冷却水系统，宜对冷却水的供水温度采取调节措施；应设置稳定冷却水系统水质的有效水质控制装置；水泵或冷水机组的管道上应设置过滤器或除污器；当一般开式冷却水系统不能满足制冷设备的水质要求时，宜采用闭式冷却塔或设置中间换热器；多台冷水机组的冷却水泵之间通过共用集管连接时，每台冷水机组或出口管道上宜设电动阀，电动阀宜于对应运行的冷水机组和冷却水泵联锁。
对进口水压有要求的冷却塔的台数应与冷却水泵台数相对应；冷却塔设置位置应通风良好，远离高温或有害气体，并应避免飘逸水对周围环境的影响；当多台开式冷却塔并联运行且不设集水箱时，应使各台冷却塔和水泵之间管段的压力损失大致相同，在冷却塔之间宜设平衡管或在各台冷却塔底部设置公用连通水槽；除横流式等进水口无余压要求的冷却塔外，多台冷却水泵和冷却塔之间通过共用集管连接时，应在每台冷却塔进水管上设置电动阀，当无集水箱或连通水槽时，每台冷却塔的出水管上也应设置电动阀，电动阀宜与对应的冷却水泵连锁；对于间歇运行的开式冷却水泵，冷却塔底盘或集水箱的有效存水容积，应大于湿润冷却塔填料等部件所需的水量以及停泵时靠重力流入管道等的水容量。
制冷和供热机房宜设置在空气调节负荷的中心，机房宜设观察控制室、维修间及洗手间；机房内应有良好的通风设置，地下层机房应设机械通风，必要时设置事故通风，控制室、维修间宜设空气调节装置；机房应考虑预留安装孔、洞及运输通道；设置集中采暖的制冷机房，其室内温度不宜低于16℃；机房应设给水与排水设施，满足水系统冲洗、排污要求。