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江苏平江直拉式单晶炉回收江苏平江分子泵回收

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因此,在向单晶炉内不断充入 的同时,还用真空泵将混合气体排出炉外;在排气时,混合气体流经 炉中的加热器、坩埚支持器等处,后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大,尤其是坩埚 支持器下方的空间较大,导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出, 热能消耗量较大;另外,现有技术中,从输入管向炉内充入时, 充气气压为1. 3x 103pa,流量为40L/min,因此其消耗量大,生产 成本较高。
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并在副炉室3移取晶位的过程中,通过电动接晶托防止晶棒掉落,安全;当不再继续加料时,通过化料器升降驱动装置将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置,并通过化料器旋臂18的旋转旋开外部化料器7,进而方便拆炉和清理;本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震,使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响,进而保晶棒质量;本发明的升降丝杆91、旋转丝杆112和丝杠192的外侧分别套装有防尘罩,进而防止润滑油脂挥发污染原料。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,为了方便副炉室3移动到取晶位,并方便副炉室3的拆解、清理,连续拉晶单晶炉还包括副炉室升降驱动装置12和副炉室旋转驱动装置13,所述所述副炉室3通过副炉室旋臂14连接在副炉室升降驱动装置12上,以便通过副炉室升降驱动装置12驱动副炉室旋臂14升降,并通过副炉室旋臂14带动副炉室3升降,所述副炉室旋转驱动装置13连接在副炉室升降驱动装置12和副炉室旋臂14之间,以便使得副炉室旋转驱动装置13随副炉室旋臂14一起升降,并通过副炉室旋转驱动装置13驱动副炉室旋臂14旋转,副炉室旋臂14又带动副炉室3旋转。

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