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单晶炉晶体提拉系统平衡研究\提拉法单晶炉是晶体生长设备中重要的产品系列之一,用此方法单晶生长速度,晶体尺寸,晶体质量,易实现自动控制,因此获得了广泛的应用。而此方法生产单晶的主要因素取决于单晶提拉过程的平稳性,因此提拉系统良好的平稳性是提高单晶炉设备性能和生产效率的关键。以良好的平稳性为目标,本文对单晶炉提拉系统进行了系统平衡方面的研究。本文介绍了单晶炉提拉系统的功能、结构特点以及工作原理；讨论了单晶炉提拉系统静平衡与动平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系统完全平衡的条件,以及提拉系统不平衡校正的方法。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，权利要求1、一种直拉式单晶生长炉，包括设于该炉顶部并伸入炉内的输入管(12)、与输入管(12)相连通的环形气体分布器(11)；其特征在于经输入管(12)输入的气压为0.8×10a0.9×10a，流量为30L/min。2、 根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于还包括 设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该炉底部的排气口 (13)之间的气流 导向装置(20);该气流导向装置(20)为碗形，其包括设于气流导向装 置(20)底部的中轴孔(2-1)、设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电 极孔(2-2)、以及设于所述中轴孔(2-1)两侧并与该炉的排气口 (13)相 对的通气孔(2-3);该炉的石墨中轴(21)