S-Wave等离子体源等离子体源墙等离子体源火炬
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材料处理:微波等离子体源可用于表面处理、薄膜沉积和蚀刻工艺。它们可以帮助在各种材料上沉积薄膜,或改变材料的表面特性。
科学研究:微波等离子体源在等离子体物理学、材料科学和航空航天研究中都有应用。它们可用于研究等离子体行为、材料相互作用以及模拟太空环境。
Sirem微波等离子体源源被设计成立或远程操作、良好的电力稳定性和显著低电力损耗。 详细和交互式的界面使它们易于操作、使用,可以通过RS232、RS485, ETHERNET 或现场总线连接进行模拟控制,如CanOpen、Modbus、Profibus等。