电子工业用氦气颗粒度及全成分检验单位

高纯氦（GB/T4844.3-1995)

项目名称

指标

优等品

一等品

合格品

氦气纯度，% ≥

99.9996

99.9993

99.999

氖含量，ppm ≤

1

2

4

氢含量，ppm ≤

0.1

0.5

1

氧（氩）含量，ppm ≤

0.5

1

1

氮含量，ppm ≤

1

1

2

一氧化碳，ppm ≤

0.1

0.2

0.5

二氧化碳，ppm ≤

0.2

0.2

0.5

甲烷量，ppm ≤

0.1

0.2

0.5

水分含量，ppm ≤

1

2

3