小型实验室精密真空等离子溅射仪器

郑州科探仪器设备是定制物理 气相沉积（PVD）系统的设计者和制造商，客户服务和售后服务。拥有7年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和工程师的支持下，高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。

郑科探的工程团队设计和制造的组件符合标准。KT-Z1650PVD真空镀膜机已通过分销商销往许多大学和研究中心，并得到了很好的参考和反馈。

仪器描述：

小型实验室精密刻蚀溅射仪器，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。

产品特点：

• 彩色触摸屏：数据输入简单快速

• 通过触摸屏中直观检测数据和曲线；历史页面可显示历史涂层信息。

• 可控镀膜速率，可得到更精细的晶粒结构

• 可手动或自动，根据时间或根据厚度进行溅射

• 样品台更换简单：标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转；行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。

小型实验室精密溅射仪器技术参数；
控制方式；7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
溅射电源；直流溅射电源
镀膜功能；0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率；≤1000W
输出电压电流；电压≤1000V 电流≤1A
真空；机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空；≤30Pa
挡板类型；电控
真空腔室；石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台；可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速；8转/分钟
样品溅射源调节距离；40-105mm
真空测量；皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa）
预留真空接口；KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口