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直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料,并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统,主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能,可以大致分为加热系统、传热及支撑系统、导流系统、保温系统等。如加热系统包括加热器、石墨电极、连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚、石英坩埚、托盘、坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖、保温筒、保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行,以及晶棒的拉速和品质。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,(4) 电气硬件设置、本系统的电气柜内布局采用模块化集中管理,各个模块间连接简单,单个模块可以带电维修,电机保护采用空气开关和丝结合的方法便于操作和维护。同时主要的电气点都能简单的在端子板上查出。整个机箱布局合理,简单。同时带有双色声光报*灯进行提示。
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第二部分炉体(上部)1.速度编码器的原理型号作用以及输入输出(好坏如何检测)2.光电编码器的原理型号作用以及输入输出(好坏如何检测)3.减速器的原理型号构造以及传动原理( 好坏如何检测)3.减速器的原理型号构造以及传动原理(好坏如何检测)4.各电机作用构造(好坏如何检测)5.提升机构的原理以及传动方式6.液压机构的原理以及传动方式,包括液压泵的原理输入输出(好坏如何检测)7.各限位的作用以及关系,限位原理,输入输出(好坏如何检测8.磁流体的原理,用途(如何保养)9.