超纯氦气的检测通常采用、灵敏度高的分析技术，以确保其纯度达到非常严格的级别（例如杂质含量低于10 ppb或更低）。以下是一些用于检测和测定超纯氦气纯度的方法：
热导率检测法：
通过测量气体混合物的总热导率来推算氦气和其他杂质气体的含量。由于氦气具有较高的热导率，这种方法可以测定样品中氦气与其他杂质气体的比例。
色谱分析：
热导色谱法（TCD）是一种常用方法，尤其采用变温浓缩技术和色谱柱分离，能够定量检测到痕量级别的杂质气体如氢、氮、氧、氩等。
质谱分析法（Mass Spectrometry, MS）：
质谱仪可以提供极其准确和详细的气体组成信息，可检测到ppb甚至ppt级别的杂质成分，并能识别出每种杂质的具体种类和含量。
光谱分析：
在某些特定条件下，利用光谱学原理，比如吸收光谱或者发射光谱，也能对超纯氦气中的微量杂质进行检测。
低温捕集与重量法：
对于某些在极低温度下易于液化的杂质，可通过低温捕集后称重的方式来测定杂质含量。
在中国，相关的国家标准（GB/T系列标准）会规定超纯氦气的质量要求以及具体的测试方法和指标。第三方检测实验室则依据这些标准使用上述或其他的分析技术对超纯氦气进行严格的质量控制和纯度验证。