冷水机是真空镀膜设备中非常重要的一项部件，为什么说冷水机那么重要呢？因为冷水机直接关系到真空镀膜设备效果的好坏。真空镀膜冷水机它主要的作用就是能控制真空镀膜机的温度，以镀件的、率。如果不配冷水机就不能使真空镀膜机达到、率控制温度的目的，因为自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且这种方式控制室极不稳定的。冷水机的运作是通过三个相互关联的系统：制冷剂循环系统、水循环系统、电器自控系统。制冷工质（即制冷剂）在蒸发器内吸收被冷却物的热量并汽化成蒸汽，压缩机不断地将产生的蒸汽从蒸发器中抽出，并进行压缩，经压缩后的高温、高压蒸汽被送到冷凝器后向冷却介质（如水、空气等）放热冷凝成高压液体，在经节流机构降压后进入蒸发器，再次汽化，吸收被冷却物体的热量，如此周而复始地循环。
风冷式冷水机：在它机身内含有保温水箱和水泵，无需再另加冷却水塔来散热，安装和移动非常方便，但是它对工作环境要求较高，因为它是以热风循环来制冷的，如果安装车间的通风效果不好的话，会直接影响到制冷效果。
水冷式冷水机：水冷式冷水机是一款配备压缩式制冷回路，采用水为冷凝器的冷却介质，以水为载冷剂的工业冷却设备，通常也称为水冷式冰水机、水冷式冻水机。通过冷却水塔散热提供循环冷却水,不管环境温度如何变化，都能避免因环境因素造成无法制冷或达不到制冷效果，根据工业应用特点设计内置低温循环水泵及不锈钢冷冻水箱，使用方便。
螺杆式冷水机：应用于集中供冷的方式，方便集中管理。主机采用国际上的第三代5：6非对称转子半封闭螺杆式压缩机，电机及压缩机一体化，无轴封之渗漏顾虑。两台或多台压缩机组合控制程序合理均衡各机头组件之负荷，延长机组使用寿命。 两台式多台压缩机采用多套制冷回路，其中一个回路须检修保养时，其余回路仍可正常运行，具有备用功能。压缩机采用星三角降压启动，避免对电网造成冲击。
低温冷水机指出水温度低于5℃的冷水机，一般载冷剂采用乙二醇混合溶液，防止冷冻水结冰，机组的构造与常规冷水机有较大的不同，根据出水温度分为0℃普通低温冷水机，-10℃低温冷水机和-60℃低温冷水机。可以直接冷却也可以间接冷却，大致分为低温风冷水机冷水机，水冷式低温冷水机，低温螺杆式冷水机组。冷冻水温度可根据工艺的需求由客户自由设定(使用温度在常温—零下60℃之间)。通过特殊的载冷剂，降低凝结温度，使其使用温度达到零下，制冷速度快性强。
