中山平面磨床

立柱、滑座与横梁，可控制由于热引起的机床变形，立柱和横梁采用花岗岩制成。砂轮横向位移滑座置于固定的横梁上、安装砂轮架的垂直运动拖板置于横向位移滑座上。横向位移和垂直运动均采用SIEMENS伺服电机直接驱动滚珠丝杠来完成，HEIDENHAIN光栅位置反馈。横向位移滑座以及垂直运动拖板的导轨同样采用的是液体静压导轨。

另外在垂直运动拖板上配备了微量进给机构，可以实现砂轮架0.1 μm的微进给。为了减少砂轮架滑座自重及其横向位移引起的横梁变形，在横梁的正上方设置了卸荷装置（卸荷横梁）。用以承担砂轮架滑座的大部分自重，并且通过HEIDENHAIN光栅位置反馈实现卸荷装置与砂轮横向位移滑座的运动同步，从而大限度的减少横梁变形对磨削加工的影响。
砂轮架，开发了转速范围广、高刚性、砂轮静压主轴系统，以实现砂轮的高刚性、回转运动。砂轮轴采用液体静承支承，SIEMENS内置式主轴电机，采用冷却液强制冷却主轴电机，砂轮主轴配备了砂轮平衡装置，配套的管理控制程序能在循环中连续监测砂轮的情况并立即对可能出现的不平衡量进行补偿。