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通过电解冶炼过程得到的普通铝锭的纯度一般在99%以上,普通的铝锭再经过偏析法、三层电解法或联合区域熔炼法可制得高纯铝锭,然后再对高纯铝锭进行锻造、轧制、热处理等,使铝锭内晶粒变细小、致密度增加以满足溅射所需铝靶材的要求。变形处理完成后,再焊接底板,然后对坯料进行机械加工,后对靶材进行表面清洁处理等。铜、钛和钽等靶材的制造工艺除在具体的熔炼方法和加工工艺参数有不同之外,工艺过程基本相同,粉末冶金铸造法是溅射靶材的另一种重要制造工艺,对于钨钛靶这类由两种熔点差别较大的金属组成的合金靶材则会选择粉末烧结工艺,粉末冶金工艺一般选用高纯、超细粉末作为原料。

共计15道工序,l粉末冶炼:对原籵粉末进行前期的气氛烧结,对原籵粉末中气体含量进行控制,l粉末混合:靶材有着特的配方,需的控制各组分的含量,并严格限制杂质含量。在粉末冶全的过程中,需要将各元素充分混合均匀。粒度分布均匀,防止污染并要通过特殊工艺手段制备成混合型复粉,l压制成型:采用粉末冶金工艺制备的靶材需要对粉体料进行预压。使之成为中等密度生坯。其密度的均匀性和内部的缺陷影响着后期高温烧结的成品率,l气氛烧结:预压成型的生坯需要再经过一次或多次的高温烧结,根据不同材籵选择不同的烧结温度曲线,并选择不同的烧结环境。

2陶瓷靶材。ITO靶、AZO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶。铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶等陶瓷溅射靶材,3合金靶材。镍铬合金靶、镍钒合金靶、铝硅合金靶、镍铜合金靶、钛铝合金、镍钒合金靶、硼铁合金靶、硅铁合金靶等高纯度合金溅射靶材,在靶材制造的过程中,需要经历粉末冶炼、粉末屁合、压制成型、气氛烧结、塑性加工、热处理、超声探伤、机械加工、水切割、机械加工、金属化、绑定、超声测试、超声清冼、栓验出货。

接近纯的ITO薄膜的电阻率,FPD和导电玻璃的尺寸都相当火,导电玻璃的宽度甚至可以达到3133_,为了提高靶材的利用率,开发了不同形状的ITO靶材,如圆柱形等,2000年,国家发展员会、科学技术部在《当前发展的信息产业领域指南》中,ITO大型靶材也列入其中,存储用,在储存技术方面,高密度、大容量硬盘的发展,需要大量的巨磁阻薄膜材料,CoF~Cu多层复合膜是如今应用广泛的巨磁阻薄膜结构。磁光盘需要的TbFeCo合金靶材还在进一步发展,用它制造的磁光盘具有存储容量大,寿命长。可反复无接触擦写的特点,如今开发出来的磁光盘。

因此铋就成了替代铅的材料,5、蓄电池:在铅酸蓄电池中加入0015%~003%的铋。可以使蓄电池在充放电等性能上均有大的改善和提高,国外蓄电池发展的国家已将其作为发展方向加以实施和推广。6、高纯超细氧化铋:高纯超细氧化铋应用于制造新型陶瓷和半导体。还可用于颜料、涂料的制备和铋基氧化物超导体的研制和开发。7、温差半导体材料:温差材料可以应用在太阳能温差发电元件和温差制冷元件。铋的某些金属化合物如(Bi,Sb)2(Te,Se)3等,特别是以Bi2Te3为基础的固溶体合金,是目前公认的好的半导体制冷材料。

铋系超导材料近年来一直是国际上研究的热点。铋锶钙铜超导线目前已经成为四大超导材料系列之一,3、核燃料冷却剂:核反应堆离不开铋,铋吸收X射线的能力与铅大体相当。但是吸收热中子截面小而熔点较低,因此LMFR反应堆都选用液态高纯铋作为反应堆燃料U235和U233的载体和冷却剂。铋冷却剂还用于核潜艇。性能优于氯化钠,铋还可以作为防护装置用于核裂变装置。4、替代铅:铅的应用也比较广,像铅黄铜、颜料、铅弹等等。都含铅,但是由于铅的毒性,会严重桅人体神经系统。国际上一直在寻求铅的替代品,铋由于和铅在许多性能方面都很接近。而且是对人体无害的“绿色金属”。

镓是一种低熔点高沸点的稀散金属。有“电子工业脊梁”的美誉。镓的化合物是的半导体材料。被广泛应用到光电子工业和微波通信工业。用于制造微波通讯与微波集成、红外光学与红外探测器件、集成电路、发光二极管等。例如我们在电脑上看到的红光和绿光就是由磷化镓二极管发出的。目前,半导体行业金属镓消费量约占总消费量的80%—85%,镓也被应用到太阳能电池的制造中,如砷化镓三五族太阳能电池,该电池具有良好的耐热、耐辐射等特性。其光电转换率非常高。初因为生产、使用成本都非常高,常常被应用在航天和领域,但近几年随着科技的发展。砷化镓太阳能电池的生产和使用成本都在降低。
其名源自tellus。意为“土地”,1782年米勒·冯·赖兴施泰因(FJMüllervonReichenstein)发现,碲为斜方晶系银白色结晶。溶于硫酸、硝酸、王水、氰化钾、氢氧化钾;不溶于冷水和热水、二硫化碳,高纯碲以碲粉为原料,用多硫化钠抽提精制而得,纯度为99999%。供半导体器件、合金、化工原料及铸铁、橡胶、玻璃等工业作添加剂用。碲有两种同素异形体,即黑色粉末状、无定形碲和银白色、金属光泽、六方晶系的晶态碲半导体。禁带宽034电子伏,[4]。碲的两种同素异形体中,一种是晶体的碲,具有金属光泽,银白色。
钼舟,钨舟坩埚:Al2O3在10-4Torr蒸发温度:170℃薄膜的机械和化学性质:有毒,损害真空系统;中文名称:硒。英文名称:Selenium,元素符号Se,元素周期表中原子序数34,VIA族非金属元素。密度为4809g/cm3,熔点221℃,沸点685℃,硒是一种有灰色单质金属光泽的固体。性脆,有毒。能导电,且其导电性随光照强度急剧变化,硒是人体必需的微量矿物质营养素,但摄入过量又会对人体产生危害,硒在地壳中的含量仅为005ppm。且分布分散。年供应量有限。硒的用途非常广泛,涉及电子、玻璃、冶金、化工、医疗保健、农业等领域硒粒。

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