等离子体源火炬气体氩气、氮气、氧气、空气单腔ECR等离子体源
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在 2.45 GHz 频率下产生的微波具有产生等离子体的特优势。在这个频率下,微波可以有效地与气体的电子共振,从而提高电离效率。此外,2.45 GHz 频率允许使用相对较小的腔体尺寸,这对于紧凑型等离子体源的设计非常有用。 微波等离子体源具有多种应用,包括:
照明:微波等离子体源可用于制造高强度放电灯,如用于投影仪或汽车前灯的金属卤化物灯。 医学应用:微波等离子体源可用于医疗消毒和手术中的组织电凝。
Sirem微波等离子体源源被设计成立或远程操作、良好的电力稳定性和显著低电力损耗。 详细和交互式的界面使它们易于操作、使用,可以通过RS232、RS485, ETHERNET 或现场总线连接进行模拟控制,如CanOpen、Modbus、Profibus等。