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热导率较大。化学性质稳定，又易于形成稳定的热氧化膜。在平面型硅器件制造中可以用氧化膜实现PN结表面钝化和保护，还可以形成金属-氧化物-半导体结构,制造MOS场效应晶体管和集成电路。上述性质使PN结具有良好特性，使硅器件具有耐高压、反向漏电流小、、使用寿命长、可靠性好、热传导好，并能在200高温下运行等优点。

硅料回收具有很高的经济价值和环境价值。
硅料是一种重要的原材料，广泛用于电子、光电子、光伏、半导体、玻璃等行业。硅料回收可以减少对矿石的开采和加工，节约能源和原材料资源，降低生产成本。

硅料回收可以减少对环境的污染和压力。硅料的生产过程中会产生大量的废弃物和废水，包括硅粉、硅渣等。这些废弃物对环境造成严重污染和资源浪费。通过回收利用这些废弃物，可以减少污染物的排放，降低环境风险。