大足阀件氦漏率检测
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背压法
背压法氦质谱检漏检漏过程主要包括三个步骤:充压、净化、检漏
1)充压:将被检件放入充氦箱,充入一定压力的氦气,在规定的加氦时间内,如果被检件有漏孔,示漏气体会通过漏孔进入到被检件内部。随着时间的增加和充压压力的提高,这个被检件内部的示漏气体分压也会逐渐升高。
2)净化。用干燥氮气或干燥空气吹除被检件表面残存的氦气。如果被测件表面存在油脂或者水汽等异物,会导致氦媳妇,影响漏率测量。这个过程中,会有部分示漏气体从被检件内经漏孔流失,导致被检件内部示漏气体分压力下降。因此净化阶段时间越长,示漏气体的分压将越大。
3)检漏。在规定的时间内,放入测试室,用氦质谱检漏仪测定被检件漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。此外,每个测量漏率都对应两个等效标准漏率,在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能。