大足阀件氦漏率检测

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背压法

背压法氦质谱检漏检漏过程主要包括三个步骤：充压、净化、检漏

1）充压：将被检件放入充氦箱，充入一定压力的氦气，在规定的加氦时间内，如果被检件有漏孔，示漏气体会通过漏孔进入到被检件内部。随着时间的增加和充压压力的提高，这个被检件内部的示漏气体分压也会逐渐升高。

2）净化。用干燥氮气或干燥空气吹除被检件表面残存的氦气。如果被测件表面存在油脂或者水汽等异物，会导致氦媳妇，影响漏率测量。这个过程中，会有部分示漏气体从被检件内经漏孔流失，导致被检件内部示漏气体分压力下降。因此净化阶段时间越长，示漏气体的分压将越大。

3）检漏。在规定的时间内，放入测试室，用氦质谱检漏仪测定被检件漏率。

背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。

背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。