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真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。

真空柱是一个密封的柱形容器。

真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。之所以要用真空，主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用扫描电镜时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。
电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
有些探测器造价昂贵，比如Robinsons式背散射电子探测器，这时，可以使用次级电子探测器代替，但需要设定一个偏压电场以筛除次级电子

新能源实验室的仪器计量涉及多个方面，包括仪器的选择、使用以及计量等。以世通新能源仪器计量CNAS中心为例，其可以开展几百多余项仪器校准工作，其中包括对照明光源如LED或OLED的色度变化进行计量。此外，该中心还具备测量照度、色温、显色指数（CRI）、色度和光谱功率分布的能力。新能源化验室设备检测
在新能源实验室中，马弗炉是一个重要的设备，其结构主要由炉体、加热元件、温度控制系统和保护气氛系统组成。马弗炉可以在高温下对材料进行热处理，从而改善材料的物理和化学性能。这涉及到对温度和时间等参数的控制，因此，对马弗炉的准确计量也是新能源实验室仪器计量工作的一部分。新能源化验室设备检测
总的来说，新能源实验室的仪器计量是一个复杂而细致的过程，需要的知识和技术支持。为了确保实验结果的准确性和可靠性，各实验室应定期进行仪器的校准和计量工作，并遵循相关的标准和规范 新能源化验室设备检测