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同时，SEM+EDS还可以实现多元素同时分析，提高分析效率和精度。通过结合形貌观察和元素分析的结果，可以更准确地判断材料的失效原因和失效模式。

SEM和EDS可以用于表征生物材料，如生物陶瓷、生物复合材料等。通过观察材料的表面形貌和结构，以及分析材料中的元素组成，可以了解材料的生物相容性和生物活性。

SEM和EDS可以用于医学诊断和研究，如观察肿瘤细胞的表面形貌和内部结构，分析病变组织的元素组成，有助于诊断疾病和了解病变的发展过程。