MMA(8.5)MAA的MicroChem光刻胶

opolymer光刻胶是基于MMA和8.5%甲基的混合物。Copolymer(8.5) MAA并PMMA光刻胶堆叠，是常用在双层剥离工艺实现立CD控制。标准Copolymer光刻胶被配制在乳酸乙酯和可提供宽范围的粘度(薄膜厚度)。所有PMMA和Copolymer光刻胶的包装：从500毫升到20升。

相关溶液：

1）显影液：MIBK:IPA

2）去胶剂：Remover PG

3）稀释剂：A Thinner

一般储存温度：

10-27℃