ECR同轴等离子体源等离子体源火炬等离子体源溅射

2.45 GHz 微波等离子体源是一种用于产生等离子体的设备，它利用 2.45 GHz（千兆赫）的微波频率来产生电离气体。这种技术在各种工业和科学应用中都有重要应用。

在 2.45 GHz 频率下产生的微波具有产生等离子体的特优势。在这个频率下，微波可以有效地与气体的电子共振，从而提高电离效率。此外，2.45 GHz 频率允许使用相对较小的腔体尺寸，这对于紧凑型等离子体源的设计非常有用。 微波等离子体源具有多种应用，包括：

Sairem公司是法国一家专注于提供微波源、微波等离子体源的公司，它的微波源被广泛应用于PECVD法制造生长金刚石设备中，等离子体源用于清洗、喷溅、蚀刻等设备中。

Sirem微波等离子体源源被设计成立或远程操作、良好的电力稳定性和显著低电力损耗。 详细和交互式的界面使它们易于操作、使用，可以通过RS232、RS485, ETHERNET 或现场总线连接进行模拟控制，如CanOpen、Modbus、Profibus等。
Sairem 微波等离子体源可用于化工污染处理。它利用微波能量来加热和处理化工废物，例如污水、有机废物或化学废料。这种技术可以有效地降解有害物质，提高处理效率，并减少对环境的影响
等离子体源是指产生和维持等离子体的设备或装置。等离子体是由高能粒子击打原子或分子而产生电离的气态物质，通常包括正离子、电子等带电粒子。等离子体源可以是利用高温或高压来产生等离子体，也可以是利用激光、微波等辐射来产生。在科学研究、工业应用和医疗领域中，等离子体源被广泛应用于材料加工、离子注入、核聚变等方面。常见的等离子体源有等离子体切割机、等离子体切割焊接机、等离子体清洗机等。