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ICP13.56MHz等离子体源刻蚀

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材料处理:微波等离子体源可用于表面处理、薄膜沉积和蚀刻工艺。它们可以帮助在各种材料上沉积薄膜,或改变材料的表面特性。

Sairem公司是法国一家专注于提供微波源、微波等离子体源的公司,它的微波源被广泛应用于PECVD法制造生长金刚石设备中,等离子体源用于清洗、喷溅、蚀刻等设备中。

SAIREM微波等离子体源可以用于药材提纯的过程。微波加热可以提高药材的温度并加速化学反应,从而实现药材的快速提纯。SAIREM微波源具有稳定的性能和高功率输出,可确保药材提纯过程的性和可靠性。通过调节微波功率和加热时间,可以控制药材提纯的过程,使其达到理想的纯度要求。这使得SAIREM微波源在药材提纯领域具有广泛的应用前景。

微波等离子体源是一种通过微波能量激发气体分子来产生等离子体的装置。它通常由微波发生器、谐振腔和等离子体室组成。微波发生器会产生一定频率和功率的微波能量,然后将微波能量通过谐振腔传递到等离子体室中的气体分子上。气体分子会被激发并产生等离子体,这种等离子体可以用于各种应用,如材料表面处理、离子束刻蚀等。微波等离子体源在科学研究和工业生产中都有广泛的应用。
等离子体源是指产生和维持等离子体的设备或装置。等离子体是由高能粒子击打原子或分子而产生电离的气态物质,通常包括正离子、电子等带电粒子。等离子体源可以是利用高温或高压来产生等离子体,也可以是利用激光、微波等辐射来产生。在科学研究、工业应用和医疗领域中,等离子体源被广泛应用于材料加工、离子注入、核聚变等方面。常见的等离子体源有等离子体切割机、等离子体切割焊接机、等离子体清洗机等。
等离子体源溅射是一种物理现象,指的是在等离子体能量密集区域中的离子和电子受到能量激发后从其表面飞出,造成溅射现象。这种现象常常在等离子体物理研究、薄膜沉积和半导体制备过程中出现。

等离子体源溅射通常是通过将能量注入等离子体中,激发其内部原子或分子,使其进入激发态。当这些原子或分子回到基态时,它们会释放出能量并将部分能量转移给周围的粒子,导致粒子从等离子体表面溅射出来。

等离子体源溅射在许多应用中都具有重要作用,例如在薄膜沉积过程中,通过控制等离子体源溅射可以调节薄膜的成分和结构,从而影响薄膜的性能。此外,等离子体源溅射也被应用于半导体制备过程中,用来清洁和改性半导体表面,以提高器件的性能和稳定性。

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