PR1系列-Futurrex紫外正性光刻胶PR1-500A
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Futurrex产品优势：
1、Futurrex光刻胶黏附性好，无需使用增粘剂（HMDS）
2、负性光刻胶常温下可保存3年
3、150度烘烤，缩短了烘烤时间
4、单次旋涂能够达到100um膜厚
5、显影速率快，100微米的膜厚，仅需6~8分钟
正性光刻胶
A、 粘度增强正胶（PR1系列）
应用：蚀刻、反应离子刻蚀、离子注入、电镀；
特征：PR1系列正胶耐热温度=110℃；
品牌 | 产地 | 型号 | 厚度 | 耐热温度 | 应用 |
Futurrex | 美国 | PR1-500A | 0.4μm～0.9μm | 耐热温度=110 ℃ | 湿刻、反应离子束刻蚀、离子植入、电镀 |
PR1-1000A | 0.7μm～2.0μm | ||||
PR1-1500A | 1.3μm～3.0μm | ||||
PR1-2000A | 1.7μm~4.0μm | ||||
PR1-4000A | 3.7μm~10.0μm | ||||
PR1-12000A | 10.0μm~25.0μm | ||||
Micro Resist | 德国 | ma-P 1200系列 | 0.5～50μm胶厚 | 非常适合作为刻蚀掩模，*的抗干刻、湿刻性能； 光刻胶图案良好的热稳定性；碱性水溶液 | |