半导体设备泵维修Oerlikon莱宝MAG1500C磁悬浮分子泵
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半导体设备泵维修Oerlikon莱宝MAG1500C磁悬浮分子泵
Oerlikon莱宝MAG1500C磁悬浮分子泵维修,Leybold MAG1500CT德国莱宝磁悬浮分子泵进气法兰口DN250 ISO-F,连接法兰DN40KF,抽速可达到1220 l/s,转速为36000 rpm,对应的控制器为:Leybold MAG.DRIVE
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