三维表面形貌测量仪

ERT的表面测量与检测

便携式三维轮廓测量仪
仪器设备的基本技术参数
● 型号:MS100
● XY轴行程：100mm x 100mm
● Z轴行程：100mm
● Z轴量程：4mm(可选配50nm-24mm）
● 光斑直径：8um(可根据光笔不同型号选择，小可小于2um)
● XY轴分辨率：50nm
● XY轴平面度:<2um
● XY轴重复定位精度：0.5um
● Z轴线性度：0.01%F.S
● Z轴分辨率:0.13um(根据不同型号光笔小为14nm)
● XY轴大扫描速度：20mm/s
● 样品可测大倾角：漫反射表面大87度
● 适用范围：任何材质表面，尤其对玻璃、镜面、高光表面均可进行稳定测试
功能与应用
● 产品表面段差、高度、宽度、平面度测量
● 多层透明体厚度测量
● 2D轮廓/3D微观形貌扫描分析
● 2D/3D粗糙度测量
● 可配合产线定制非标自动化检测方案等