蒸发源是将材料加热至其熔点或沸点，使其蒸发到基材上形成薄膜的装置。溅射源则是通过在材料表面轰击高能粒子，使其溅射出来，并沉积在基材上。离子源则通过离子轰击基材表面，使其表面活化并提高薄膜质量。
真空镀膜机主要由真空室、加热系统、薄膜材料源、蒸发或溅射系统、控制系统等部分组成。在操作过程中，将待镀物放置在真空室中，并将真空室抽成高真空状态。然后，加热系统加热材料，使其蒸发或溅射成薄膜，并在材料表面形成均匀的涂层。控制系统可对加热温度、真空度等参数进行调节和监控，以薄膜的质量和厚度。
真空镀膜机广泛应用于电子、光学、光电、航空航天等领域。它可以制备多种功能性薄膜，如反射膜、透明导电膜、防反射膜等，用于改善材料的光学、电学、磁学性能。
在蒸发过程中，部分蒸汽会沉积在冷凝器上，形成固态材料，也可以通过回收装置进行回收再利用。同时，为了保持真空环境，需要使用泵组进行持续抽气。
卧式电阻回收蒸发真空镀膜机设备广泛应用于光学、电子、材料等领域，用于制备透明导电膜、光学薄膜、防反射膜等。它具有操作简便、加工、薄膜质量好等优点，是现代工业中不可或缺的设备之一。