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并在副炉室3移取晶位的过程中，通过电动接晶托防止晶棒掉落，安全；当不再继续加料时，通过化料器升降驱动装置将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置，并通过化料器旋臂18的旋转旋开外部化料器7，进而方便拆炉和清理；本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震，使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响，进而保晶棒质量；本发明的升降丝杆91、旋转丝杆112和丝杠192的外侧分别套装有防尘罩，进而防止润滑油脂挥发污染原料。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，基本介绍编辑1、主机部分：机架，双立柱\双层水冷式结构炉体\水冷式阀座\晶体提升及旋转机构\坩埚提升及旋转机构\系统\真空系统及自动炉压检测控制\水冷系统及多种安全保障装置\留有二次加料口2、加热器电源：全水冷电源装置采用专利电源或原装进口IG及超快恢复二极管等功率器件。配以高频变压器，构成新一代高频开关电源。采用移相全桥软开关（ZVS）及CPU控制技术，提高了电能转换效率，不需要功率因数补偿装置。3、计算机控制系统：采用PLC和上位工业平板电脑PC机，配备大屏幕触摸式HMI人机界面、高像素CCD测径ADC系统和具有知识产权的“全自动CZ法晶体生长SCADA监控系统”，可实现从抽真空—检漏—炉压控制—熔料—稳定—溶接—引晶—放肩—转肩—等径—收尾—停炉全过程自动控制。