超纯氮气的检测方法通常比中纯氮气更为严格，因为超纯氮气在电子工业、半导体制造、激光技术以及科学研究等领域应用广泛，对杂质含量有着的要求。以下是一些常用的超纯氮气检测方法：
光谱分析 ： 红外(IR)光谱法：通过测量氮气吸收特定波长的红外辐射，可以确定是否存在其他气体分子或杂质。 原子发射光谱(AES)或原子吸收光谱(AAS)：这些方法用于测量痕量金属元素的存在。
2. 气体传感器阵列 ： 使用高灵敏度的气体传感器阵列，能够检测包括氧气、氢气、二氧化碳等在内的多种潜在杂质。
3. 质谱分析 ： 气相色谱质谱联用(GC MS)：通过色谱分离和质谱检测来确定混合物中的所有成分，包括微量杂质。
4. 电化学检测 ： 如电解质膜质子交换膜电导率测试，用于检测水分和其他可能影响电性能的杂质。
5. 露点分析 ： 测量氮气中的水分含量，这是超纯气体的重要指标，通常使用露点仪进行。
6. 电导率测量 ： 用于检测气体中离子或电子的存在，如电解质或金属颗粒。
7. 热传导率测定 ： 对于高纯度气体，微小的杂质可能会影响其热传导性，通过热传导率测量可以推断纯度。
8. 化学反应检测 ： 尽管镁燃烧的方法在中纯氮气检测中可行，但在超纯气体中，这种方法可能不够敏感，因为需要极低浓度的杂质才能观察到明显反应。 在实际操作中，超纯氮气的供应商通常会提供相应的质量，包括证书和定期的第三方检测 ，以确保达到或超过规定的纯度等级。
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