甘肃省武威市GB/T16944-2009电子工业用气体氮检验

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GB/T 16944 2009《电子工业用气体 氮》是中国国家标准，该标准针对用于电子工业的氮气进行了详细的技术规定。以下是对该标准的一些要点概述： 

1.    适用范围  ：   该标准适用于通过深冷法从空气中提取的气态或液态氮，以及通过电化学方法获得的氮。   这些氮气主要用于超大规模集成电路（VLSI）制造中的保护、吹扫、覆盖、加压、化学气相沉积（CVD）等工艺。 

2. 2.   质量要求  ：   标准对氮气的纯度有严格的要求，通常要求纯度达到99.9996%以上，这确保了在电子工业应用中的纯净性和可靠性。   对于不同用途的氮气，可能会有不同的纯度和其他技术指标要求。 

3. 3.   检验项目  ：   标准中可能包含对氮气纯度、水分含量、杂质气体浓度、露点、压力稳定性等进行检验的详细规定。   可能还包括对氮气的物理性质、化学性质、以及在特定工艺条件下的表现进行测试的方法和标准。 

4. 4.   检验方法  ：   提供了相应的测试方法和程序，以确保检验的准确性和一致性。   这可能包括使用特定的分析仪器和技术来测量氮气的纯度和其他特性。 

5. 5.   应用领域  ：   电子工业，特别是在半导体制造、封装、清洗、蚀刻、掺杂等过程中，对高纯度氮气的需求非常高。 

6. 6.   执行与遵守  ：   企业或实验室在生产、检验、销售或使用电子工业用氮气时，应遵循GB/T 16944 2009的规定，以确保产品质量符合标准要求。 请注意，标准的具体细节和  修订情况可能需要查阅  的  版本或相关文档以获取 准确的信息。在实际操作中，应当参考  的国家标准版本以确保合规性。

7. 江苏科海检验有限公司是一家依法成立并能够承担相应法律责任的第三方气测中心。支持全国上门取货、寄样检测，检测周期短费用低，欢迎来电咨询