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江苏惠山蓝宝石单晶炉回收整流柜回收现场报价

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江苏惠山蓝宝石单晶炉回收 整流柜回收现场报价

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在本实施例中,所述副炉室升降驱动装置12的结构和加料器升降驱动装置的结构一致,所述副炉室旋转驱动装置13的结构和加料器旋转驱动装置的结构也一致。为了防止在副炉室3移动到取晶位的过程中,因晶棒掉落而出现事故,连续拉晶单晶炉还包括在副炉室3移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托,所述电动接晶托包括提升杆、用于承接晶棒的托板153、电动推杆152、接晶托电机154和固定管151,所述电动推杆152连接在副炉室旋臂14上,所述提升杆连接在电动推杆152的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降,所述接晶托电机154连接在提升杆上,所述托板153连接在接晶托电机154的输出轴上,以便通过接晶托电机154驱动托板153旋转,所述固定管151套装在提升杆和电动推杆152的推杆的外侧,所述固定管151连接在副炉室旋臂14上。
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采用了上述技术方案后,本发明具有以下有益效果:、取出晶棒后,将硅料加入加料坩埚,盖上外部加料器的上盖,将外部加料器真空抽到合适压力值时打开旋阀,硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化,熔化后的硅料流入主炉室坩埚,当外部化料器中的硅料加完后,再关闭旋阀,把外部加料器充常压,打开外部加料器的上盖继续加料,如此循环,进而完成外部加料、化料,本发明可实现连续拉晶,选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五六根晶棒,可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间,进而提高生产效率;、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,大直径硅单晶的制备与数值分析\大直径硅单晶是微电子工业的基础材料,广泛应用于集成电路备件和硅片制造领域,是现今信息社会的基石。根据半导体设备材料产业协会(SEMI)的报告,大直径硅单晶的需求依然旺盛,450mm硅单晶要继续开发研究。当前主流集成电路设备用部件急需400mm硅单晶并提出低成本的要求,开发400mm硅单晶和研究晶体制备的工艺过程,无疑具有重要的理论意义和现实需求。同时,开发下一代450mm集成电路用硅晶体、研究外加磁场对改善晶体质量的作用,对于我国未来制造450mm硅片具有重要的战略意义。

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